Weiterentwicklung von Sensoren und Systemen (Beschleunigungs- und Drehratensensoren) basierend auf der MEMS-Technologie Auslegung... der Inertialsensoren Definition von Testprozeduren und -kriterien zur Charakterisierung der MEMS-Systeme und -Sensoren Interpretation von...
Weiterentwicklung von Sensoren und Systemen auf Basis der MEMS-Technologie Auslegung, Konzept, Entwurf, Design und Verifikation von... Testprozeduren und -kriterien zur Charakterisierung der MEMS-Sensoren Planung und Durchführung von Integrations...